Wafer surya silikon monokristallin 210mmx210mm M12 dengan diameter 295mm adalah 80,5% lebih besar dari wafer M2.
1 Sifat material
harta benda | Spesifikasi | Metode Inspeksi |
Metode pertumbuhan | Cz | |
Kristalitas | Monokristallin
| Teknik Etsa Preferensial（ASTM F47-88） |
Jenis konduktivitas | Tipe-P | Napson EC-80TPN P/N |
Dopant (dalam Dopant)
| Boron, Gallium
| - |
Konsentrasi oksigen[Oi] | ≦8E+17 at/cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Konsentrasi karbon[Cs] | ≦5E +16 at/cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
Kepadatan lubang etch (kepadatan dislokasi) | ≦500 cm-3 | Teknik Etsa Preferensial（ASTM F47-88） |
Orientasi permukaan | <100>±3° | Metode Difraksi Sinar-X (ASTM F26-1987) |
Orientasi sisi persegi semu | <010>,<001>±3° | Metode Difraksi Sinar-X (ASTM F26-1987) |
2 Sifat listrik
harta benda | Spesifikasi | Metode Inspeksi |
Resistivitas | 0,5-1,5 Ωcm | Sistem inspeksi wafer |
MCLT (masa pakai operator minoritas) | ≧50 μs | Sinton BCT-400 (dengan tingkat injeksi: 1E15 sentimeter-3) |
3 geometri
harta benda | Spesifikasi | Metode Inspeksi |
geometri | Persegi penuh | |
Panjang samping wafer | 182±0,25 mm | sistem inspeksi wafer |
Wafer Diameter | φ247±0,25 mm | sistem inspeksi wafer |
Sudut antara sisi yang berdekatan | 90° ± 0,2° | sistem inspeksi wafer |
Ketebalan | 180﹢20/﹣10 μm; 170﹢20/﹣10 μm | sistem inspeksi wafer |
TTV (Variasi ketebalan total) | ≤27 μm | sistem inspeksi wafer |
4 Properti permukaan
harta benda | Spesifikasi | Metode Inspeksi |
Metode pemotongan | Dw | -- |
Kualitas permukaan | seperti dipotong dan dibersihkan, tidak ada kontaminasi yang terlihat, (minyak atau minyak, sidik jari, noda sabun, noda bubur, noda epoksi / lem tidak diizinkan) | sistem inspeksi wafer |
Tanda gergaji / langkah | ≤ 15μm | sistem inspeksi wafer |
busur | ≤ 40 μm | sistem inspeksi wafer |
Warp | ≤ 40 μm | sistem inspeksi wafer |
Chip | kedalaman ≤0,3mm dan panjang ≤ 0,5mm Max 2/pcs; tidak ada V-chip | Mata telanjang atau sistem inspeksi wafer |
Retakan mikro / lubang | dilarang | sistem inspeksi wafer |
Tag populer: p tipe m10 monokristallin wafer surya, Cina, pemasok, produsen, pabrik, dibuat di Cina
